题目内容
(请给出正确答案)
[单选题]
离子注入、退火、快速热退火的英文分别是()。
A.anneal,ion implantation,RTA
B.diffusion,anneal,RTA
C.ion implantation,anneal,RTA
D.ion implantation,anneal,CVD
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A.anneal,ion implantation,RTA
B.diffusion,anneal,RTA
C.ion implantation,anneal,RTA
D.ion implantation,anneal,CVD