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[多选题]
智能功率集成电路上还包括（)保护电路，有的还将电路内部状态作为—个诊断信号输出。
A.过电流
B.超温
C.过电压
D.欠电压
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D.微机电系统（MEMS）在芯片上融合了光﹑机﹑电等多种不同类型的构件
